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喷胶机 Spray Coater

  • 该喷胶机为专用喷胶设备,是适用于工业级企业的量产型机台,适应表面刻有深孔的高表面形貌圆形基片,可满足TSV、MEMS等特殊工艺需求。
    • 设备主要由旋转热板系统、喷嘴扫描系统、流速控制系统、控制系统及排液系统等组成,整机采用框架结构,外表为优质不锈钢护板,工作方式为手动上下片,自动完成喷胶工艺。
    • 适用于晶圆尺寸: φ200mm 硅片玻璃片、晶圆-玻璃键合片、晶圆-晶圆键合片以及减薄片(向下兼容)。
    • 采用XY轴电动机械组合缸设计,配套进口超声喷雾系统,雾化颗粒均匀,喷头高度和功率均可调。
    • 转盘加热旋转系统(50℃-100℃)工作区高热均匀性,温控精度≤±1。
    • 14.1英寸触摸屏人机界面,集散式控制方式,Windows操控系统简单易用。