江阴市希瑞电子有限公司

联系电话:159-9536-5210

真空镀膜设备FANGSENG

设备参数
·腔体方形:450*450*(400-800),前开门,后侧移门(接手套箱),材质:SUS304
·真空系统 :分子泵(Pfeiffer700L/S)+机械泵(8L/S),配旁抽阀. 极限真空可到2.0*10-5Pa.全量程真空计显示范围(1.0*10E5Pa-1.0*10E-5Pa),可选配低温泵
·机架:60进口铝型材组装,轻便,美观
·基片盘:伺服电机控制,可在0-50转/分匀速转动,可任意角度定位。可装1-4块32*32基片配四块掩膜板
·挡板:基片大挡板:气缸+磁流体驱动。源小挡板:选配
·蒸发源:蒸发源2-16组:在腔体底部呈发散形分布,相互间挡板隔开,避免交叉污染
·电源:进口TDK系列电源.电流加热模式, 精度0.04A,数量:客户要求,型号:100A, 180A,240A
·软件控制:PLC+PC机,供电:380 VAC,50Hz电源输入
·膜厚仪:腔体内可装1到多个晶振探头,靠近样品架中央有一个中心探头。膜厚精度0.01A/S。标配Inficon SQC-310C具有4源共蒸功能,蒸镀速率可自动控制
·手套箱(选配):可选配,手套箱含水氧探头、气体循环和再生系统。水氧含量控制在小于1 ppm。配有EDWARDS旋片式真空泵或其它泵组,手套箱尺寸:2400×750×900英寸(长×宽×高)(可定制)