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薄膜太阳能电池划线设备

该设备根据要求采用切割头方式对钙钛矿电池进行激光划线,划线方向不定。平台采用二维滑台设计,行程尺寸为300*300mm。同时兼有龙门设计,Z轴为电动方式。
划线要求如下:
·可完全刻划Au/spiroOMeTAD/PVSK/SnO2/Ag/BCP/PCBM/NIOx等镀层
·划刻膜层去除干净,边缘平整,光滑,划刻后膜层边缘直线度±50um/m,重复精度±0.02mm
·设备可兼容划刻柔性基底(PET/PEN等材料)和玻璃基底
·划刻过程不可伤到TCO导电层
·未被激光划刻的部分膜层不受到粉尘的损伤和污染
·划刻完成的工件表面无粉尘、颗粒残留