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KLA探针式表面轮廓仪

KLA是全球半导体在线检测设备市场大型供应商,在半导体、数据存储、 MEMS 、太阳能、光电子以及其他领域中有着很高的市占率。P-7是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统,历经技术积累和不断迭代更新,集合众多技术优势。P-7建立在市场领先的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
从可靠性表现来看,P-7具有业界领先的测量重复性。UltraLite®传感器具有动态力控制,良好的线性,和精准的垂直分辨率等特性。友好的用户界面和自动化测量可以适配大学、研发、生产等不同应用场景。

主要功能
·台阶高度:几纳米至1000μm
·微力恒力控制:0.03至50mg
·样品全直径扫描,无需图像拼接
·视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
·圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
·生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化

主要应用
·薄膜/厚膜台阶
·蚀刻深度量测
·光阻/光刻胶台阶
·柔性薄膜
·表面粗糙度/平整度表征
·表面曲率和轮廓分析
·薄膜的2D stress量测
·表面结构分析
·表面的3D轮廓成像
·缺陷表征和缺陷分析
·其他多种表面分析功能