江阴市希瑞电子有限公司

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F20薄膜厚度测量仪

先进的薄膜厚度测量系统
使用 F20 高级频谱反射测量系统,我们能轻松的实现对膜层厚度和光学常数( n 和 k 值)的测量。通过对膜层顶部、底部反射光谱进行分析,数秒内我们即可得到膜层的厚度、折射率和消光系数。
通过内置的独立软件和 USB 接口,能够很容易的把 F20 安装在任何的 Windows 电脑平台上。健全的软件材料库( 100 多种材料),极大的满足了对各种不同膜层结构测量的需要,包括对单层、多层或独立膜层的测量。透过测量样品的光学常数或可测样品膜层,基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系数的薄膜都可以测量。这包括几乎所有的电介质与半导体材料,例如:
氧化硅、光刻胶、多晶硅、
氮化硅、聚合物、非晶硅、
类金刚石 DLC、聚酰亚胺、硅

选择Filmetrics的优势
• 桌面型薄膜厚度测量的领先者
• 24 小时电话, Email ,在线支持
• 直观的分析软件

附加特性
• 嵌入式在线诊断方式
• 免费离线分析软件
• 精细的历史数据功能,帮助用户有效的存储,重现与绘制测试结果

免费现场演示/支持
点几下鼠标就可以在网络上在线看到现场演示!请联系我们,我们的应用工程师会在电脑上为您演示薄膜测量是多么容易!