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喷胶单元

该喷胶机为专用喷胶设备,是适用于工业级企业的量产型机台,适应表面刻有深孔的高表面形貌圆形基片,可满足TSV、MEMS等特殊工艺需求。
• 设备主要由旋转热板系统、喷嘴扫描系统、流速控制系统、控制系统及排液系统等组成,整机采用框架结构,外表为优质不锈钢护板,工作方式为手动上下片,自动完成喷胶工艺。
• 适用于晶圆尺寸: φ200mm 硅片玻璃片、晶圆-玻璃键合片、晶圆-晶圆键合片以及减薄片(向下兼容)。
• 采用XY轴电动机械组合缸设计,配套进口超声喷雾系统,雾化颗粒均匀,喷头高度和功率均可调。
• 转盘加热旋转系统(50℃-100℃)工作区高热均匀性,温控精度≤±1。
• 14.1英寸触摸屏人机界面,集散式控制方式,Windows操控系统简单易用。

喷胶机 -TDS1200/800
◆适用于4、6、8或12英寸晶圆及方片,特殊形状可定制
◆适应于光刻胶粘度≤50cps,正性或负性光刻胶
◆流量≤0.25ml/秒for50cps,粘度≤10cps时喷嘴理论流量达到最大值
◆主要固态颗粒物浓度上限位≤40%
◆主要固态科颗粒直径≤0.1倍平均雾化颗粒直径
◆自动机械臂喷涂、自动旋转烤盘、自动后烘烤搬运
◆不间断无脉动连续供胶pump
◆手动上下多片卡具或Robot自动标准晶圆上下片
◆模块化的单元便于维护
◆图形化的人机交互界面